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HPL 系列直線電機模組

產品名稱:HPL 系列直線電機模組

產品型號:HPL-170LM

產品備注:高精密直線電機平臺

  Design Features

  ■ Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm

  ■ 定位精度達(直線誤差修正后):±1μm(Travel≤200mm)

  ■ 穩定且優良的軸系提供了平滑運動,經算法優化可以獲得小的動態跟隨誤差

  ■ 線性表現優良的光柵反饋系統,可以獲得point-to-point位置精度

  ■ 標準的模塊化設計,靈活的單軸/多軸解決方案

  ■ 整體密封結構,輕量化、高剛性結構設計,低成本,高性能

  HPL-170LM直線電機平臺采用無鐵芯直線電機驅動,平臺行程從100至600mm。該平臺擁有優良的設計,嚴苛的軸系裝配工藝,但成本低,這使得HPL-170LM直線電機平臺得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業應用,如半導體晶圓檢測、微電子組件測試、取放、DNA測序、激光加工等領域。

  Construction Features

  HPL-170LM直線電機平臺采用7075#航空鋁經一體化加工成型,同時減少因導軌和鋁主體不同的熱膨脹系數引起的折彎效應。導軌對稱分布在基座兩側,減少兩種不同金屬熱膨脹帶來的影響,同時高剛性的基座將負載情況下的偏轉、滾擺降到較小。

  導軌鋼球通過與球保持器配合使用,沿經精密研磨加工而成的4列滾動面進行滾動,實現了4方向等負荷、低重心、高剛性、高精度、平滑穩定的直線運動,出色的負載能力、長壽命、低噪音。

  Linear Motor Drive

  HPL-170LM直線電機平臺采用了高效率的無鐵芯直線電機作為驅動部件。該直驅平臺擁有較高的速度、較高的加速度和穩定的精度表現。由于采用零間隙傳動,可減少相關結構部件的磨損,同時減少結構部件數量。因此,HPL-170LM直線電機平臺相對于絲桿驅動,結構更加緊湊,效率更高。

  High Performance

  HPL-170LM直線電機平臺集成具有較好線性表現的開放式增量光柵系統,可以提供較好的的分辨率、重復性和穩定性。穩定的光學零位,保障雙向回零的重復性和可靠性。經激光干涉儀標定補償,可以輕易獲得好的定位精度。

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